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RR759L27

RR759 该款大气机械手是搭载绝对编码器以及步进马达的回旋镖式机械手。通过手臂和旋转轴配合的补间动作,

可以不搭配行走轴,独立对应双Load port场景的晶圆传输。

若搭配行走轴,机械手能控制本体和外部行走轴进行同步动作,示教阶段亦可实现。

没有旋转死角,能够到达全方位的角度。


全轴搭载含ABS编码器的步进马达

不搭配行走轴,独立对应双Load port场景的晶圆传输。


手臂高刚性对应高重量的负载

双臂构造从而实现高产能

可以控制外部行走轴的机械手


无旋转死角,能够到达全方位的角度

对应更长的臂展

原则上,RR759只能组装好以系统的形式来进行销售

手臂/EE: 双臂
臂长(mm): 270
Z轴行程(mm): 190/420/550
最大传输距离(mm)※1: 962
旋转范围(deg): 420
搬送精度(mm): ±0.1
洁净度等级: class 1
旋转半径(deg)※2: R320
编码器规格: 绝对值编码器

※1 以搬送300mm Wafer为例
※2 根据Wrist以及EE的长度会有所不同。