RR759 该款大气机械手是搭载绝对编码器以及步进马达的回旋镖式机械手。通过手臂和旋转轴配合的补间动作,
可以不搭配行走轴,独立对应双Load port场景的晶圆传输。
若搭配行走轴,机械手能控制本体和外部行走轴进行同步动作,示教阶段亦可实现。
没有旋转死角,能够到达全方位的角度。
全轴搭载含ABS编码器的步进马达
不搭配行走轴,独立对应双Load port场景的晶圆传输。
手臂高刚性对应高重量的负载
双臂构造从而实现高产能
可以控制外部行走轴的机械手
无旋转死角,能够到达全方位的角度
对应更长的臂展
原则上,RR759只能组装好以系统的形式来进行销售