RR491 蛙型真空机械手由于采用了真空直驱马达，实现了高重复定位精度以及高真空隔绝性能。另外，由于使用全连杆手臂结构，能够实现超高的重复精度。
高精度
超高真空对应
高产能
可以选配AWC功能（wafer位置补正）
RR491 蛙型真空机械手由于采用了真空直驱马达，实现了高重复定位精度以及高真空隔绝性能。另外，由于使用全连杆手臂结构，能够实现超高的重复精度。
高精度
超高真空对应
高产能
可以选配AWC功能（wafer位置补正）
| 搬送物： | 最大300mm Wafer、150mm Mask等 |
| Wafer中心搬送距离： | 770mm |
| Z轴行程： | 70mm/140mm |
| 旋转范围： | 无死角旋转 |
| 旋转直径： | 810mm |
| 搬送精度（X,Y）： | ±0.1mm |
| 质量： | 65kg |
| 应对真空度： | 10E-6 Pa |
| He Leak rate： | 5x10E-9 Pa.m³/sec He (Base Vacuum 5x10E-4 Pa) |
| 使用温度： | 80℃以下 |
| 真空内部使用材料： | 铝、不锈钢、AM350（波纹管）、镀镍磁铁、氟橡胶O型密封圈 |
| 马达规格： | 真空用直驱马达（Z轴：伺服马达） |
| 编码器规格： | 绝对编码器 |
| 电源输入电压： | DC48V（马达驱动）、DC24V（通信） |
| 通讯规格： | TCP/IP |
| 选配： | 手操器、电源单元（AC200V Input） |
