RR493 该款SCARA真空机械手（单臂）通过使用真空直驱马达，实现了位置的高再现性以及高真空隔绝性能。另外，由于使用钢带的连接手臂驱动结构，在保证较小的旋转范围的同时，可以使用较长的End Effector。

较小的旋转范围

可以使用较长的手指，实现较长的伸展距离

可以对应较窄的门阀开口（15mm）

高精度

对应超高真空

高产能

可以选配AWC功能（wafer位置补正）