标准款Load Port。采用RORZE独特的开关门机构,可以精密控制FOUP的开关门动作的同时,实现高水平的洁净度控制。
FOUP 和 Auto FOSB标准化对应
RORZE具有高精度以及高洁净度的特性。
标准款Load Port。采用RORZE独特的开关门机构,可以精密控制FOUP的开关门动作的同时,实现高水平的洁净度控制。
FOUP 和 Auto FOSB标准化对应
RORZE具有高精度以及高洁净度的特性。
输入电源: | DC24V±10% 6A |
压缩空气: | 0.5Mpa-0.6Mpa 10L/min以上 |
真空空气: | -60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上 |
N2: | - |