该款为对应特殊Glass Wafer的Load Port,该款也继承了RORZE标准的Load Port的开关门方式,可以精密控制FOUP的开关门动作的同时,实现高水平的洁净度控制。
FOUP 和 Auto FOSB标准化对应
RORZE独特的开关门机构及高精度的动作控制,以及高洁净度控制。
该款为对应特殊Glass Wafer的Load Port,该款也继承了RORZE标准的Load Port的开关门方式,可以精密控制FOUP的开关门动作的同时,实现高水平的洁净度控制。
FOUP 和 Auto FOSB标准化对应
RORZE独特的开关门机构及高精度的动作控制,以及高洁净度控制。
特殊规格: | Glass对应 |
输入电源: | DC24V±10% 6A |
压缩空气: | 0.5Mpa-0.6Mpa 10L/min以上 |
真空空气: | -60kPa 〜 -80kPa 10L/min以上 |
N2: | - |