该款为底部可以Purge 氮气(N2)的Load Port,采用RORZE特有的Purge 喷嘴,以及通过Mass Flow Controller(MFC)可以精确地控制N2 Purge流量。
该款也继承了RORZE标准的Load Port的开关门方式,可以精密控制FOUP的开关门动作的同时,实现高水平的洁净度控制。
FOUP 和 Auto FOSB标准化对应
RORZE独特的开关门机构及高精度的动作控制,以及高洁净度控制。
内有减少压力损失的过滤器
RORZE独特的Nozzle设计