PLVS/真空平台是搭载了各种真空机械手，真空Aligner等使用DDM（真空直驱马达）的驱动模组的真空单体，可以实现位置精度的高再现性，以及优越的真空隔绝性能，可以实现高洁净度的搬送System。以及，可以根据客户的需求进行设备单体的组合，可简易地实现高性能的真空环境下的搬送，适用于E-Beam Lithography、PVD、CVD、Etch、MR Head Deposition、MEMS、Inspection & Metrology等各种半导体行业应用。

最合适的System构成

最小的Footprint

高洁净度控制。

超高真空

高产能