搭载新型洁净机器人和高速直驱走行轴，可实现高速传输。
可以选择标准机型或者选择高度自由定制机型，根据需求搭配各个模块。
取放片方式可选O-RING、Vacuum或者Edge Clamp。（OPTION）
Aligner可以选配2台，以实现更高产能。（OPTION）
可以对应OHT和AGV。（OPTION）
可实现200/300mm兼容。（OPTION）
可选配FFU、离子棒、追加buffer等功能模块。（OPTION）
可以选择对应N2/XCDA purge的LOAD PORT。（OPTION）
可以选配手操器。（OPTION）
| 型号： | RSC131 | ||||
| Load Port数： | 2Port | ||||
| 搬送对象： | 300mm Wafer | 直径：Φ300±0.2mm | 厚度：775mm | ||
| 料盒： | 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31) | ||||
| 电源电压： | 单相 AC200V±10% 50/60Hz±5% | ||||
| 电流消耗： | 4kVA (20A/200VAC) 含FFU在内 | ||||
| 真空（元压）： | -80kPa～-90kPa | ||||
| 真空（流量）： | 40L/min | ||||
| Air（元压）： | 0.6MPa～0.7MPa | ||||
| Air（流量）： | 20L/min | ||||
| EMO接点输出： | 2个触点 | ||||
| Interlock： |
输入8点/输出8点(绝缘I/O) |
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| 型号： | RSC141 | ||||
| Load Port数： | 3Port | ||||
| 搬送对象： | 300mm wafer | 直径：Φ300±0.2mm | 厚度：775mm | ||
| 料盒： | 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31) | ||||
| 电源电压： | 单相 AC200V±10% 50/60Hz±5% | ||||
| 电流消耗： | 4kVA (20A/200VAC) 含FFU在内 | ||||
| 真空（元压）： | -80kPa～-90kPa | ||||
| 真空（流量）： | 50L/min | ||||
| Air（元压）： | 0.6MPa～0.7MPa | ||||
| Air（流量）： | 30L/min | ||||
| EMO接点输出： | 2个触点 | ||||
| Interlock： |
输入8点/输出8点(绝缘I/O) |
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| 型号： | RSC151 | ||||
| Load Port数： | 4Port | ||||
| 搬送对象： | 300mm wafer | 直径：Φ300±0.2mm | 厚度：775mm | ||
| 料盒： | 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25 段(SEMI M31) | ||||
| 电源电压： | 单相 AC200V±10% 50/60Hz±5% | ||||
| 电流消耗： | 4kVA (20A/200VAC) 含FFU在内 | ||||
| 真空（元压）： | -80kPa～-90kPa | ||||
| 真空（流量）： | 60L/min | ||||
| Air（元压）： | 0.6MPa～0.7MPa | ||||
| Air（流量）： | 40L/min | ||||
| EMO接点输出： | 2个触点 | ||||
| Interlock： |
输入8点/输出8点(绝缘I/O) |
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